Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la rela...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Shirkavand, Nazanin
Formato: Online
Idioma:spa
Publicado: Instituto Tecnológico de Costa Rica 2013
Acceso en línea:https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707

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