Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la rela...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Shirkavand, Nazanin
Formato:	Online
Idioma:	spa
Publicado:	Instituto Tecnológico de Costa Rica 2013
Acceso en línea:	https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707

id	INVESTIGATEC707
record_format	ojs
spelling	INVESTIGATEC7072013-02-05T19:58:12Z Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos Shirkavand, Nazanin Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el númeroposible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM). Instituto Tecnológico de Costa Rica 2013-02-05 info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion Artículo revisado por pares application/pdf https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707 Investiga.TEC; Núm. 14 (2012); pág. 16-17 1659-3383 spa https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707/638
institution	Tecnológico de Costa Rica
collection	Investiga TEC
language	spa
format	Online
author	Shirkavand, Nazanin
spellingShingle	Shirkavand, Nazanin Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
author_facet	Shirkavand, Nazanin
author_sort	Shirkavand, Nazanin
description	Una investigación, denominada Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos y desarrollada en el Centro de Investigación en Ciencia e Ingeniería de Materiales (CICIMA), de la Universidad de Costa Rica, tuvo como objetivo poder encontrar la relación de los parámetros del magnetrón (presión, potencia y tiempo) con el grosor de formación de las capas delgadas de cobre. Se utilizó el método estadístico de 2K (donde K es el número de parámetros por utilizar en la investigación) y se encontró el númeroposible de combinaciones con los tres parámetros del magnetrón, para luego llevar a cabo las deposiciones y posteriormente las mediciones en el microscopio de fuerza atómica (AFM).
title	Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
title_short	Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
title_full	Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
title_fullStr	Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
title_full_unstemmed	Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
title_sort	optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos
publisher	Instituto Tecnológico de Costa Rica
publishDate	2013
url	https://revistas.tec.ac.cr/index.php/investiga_tec/article/view/707
work_keys_str_mv	AT shirkavandnazanin optimizaciondeparametrosdedeposiciondecapasdelgadasdecobreutilizandodisenodeexperimentos
_version_	1805400346201161728

Optimización de parámetros de deposición de capas delgadas de cobre utilizando diseño de experimentos

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